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摘要
本发明公开了易锈蚀金属件表面类金刚石薄膜及其制备方法。该制备方法是先对金属表面预处理,去除表面污染物；然后将预处理后的金属固定在工件架上,采用离子源轰击清洗样品表面；制备0.1-0.5微米的过渡层；制备1-3微米厚度的a-C：HDLC层。本发明不同于传统制备DLC涂层制备,提高了碳氢化合物的离化率,合理地提高了基体温度,提高了吸附粒子在表面的扩散可动性,使碳离子向沟槽或凹坑处移动,利于生成致密的膜,即使金属表面是拉丝/喷砂的非光滑面,本发明所获得涂层仍然具有优异的耐蚀性能和膜基附着力。
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