温度补偿是提高MEMS陀螺性能的关键技术,数字化系统及软件补偿是当前的研究热点,现有补偿方法中温度传感器和陀螺芯片分离造成补偿不精确。提出了一种基于温度自传感的数字石英陀螺温度补偿方法,在数字驱动电路的基础上通过陀螺芯片反馈的参数获取温度信息,动态补偿解调参考信号的相位,并通过高阶拟合实现温度补偿。实验表明经过补偿后,零偏稳定性由192.85°/h提升至5.03°/h,温度漂移得到了显著抑制。未来该方法可进一步通过混合集成,制备成集成电路芯片。
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