冶炼光伏级硅用氮氧化硅/石英复合陶瓷坩埚及其制备方法

作者：王庆虎; 刘俊; 李亚伟; 桑绍柏; 徐义彪; 朱天彬; 潘丽萍

来源：2020-08-03, 中国, CN202010766412.1.

本发明涉及一种冶炼光伏级硅用氮氧化硅/石英复合陶瓷坩埚及其制备方法。其技术方案是：将70～85质量份的氮氧化硅前驱体和15～30质量份的熔融石英粉体混合,在混合气氛和1400～1700℃条件下保温2～10h,冷却,研磨,制得氮氧化硅粉体；将50～100质量份的氮氧化硅粉体、0～50质量份的熔融石英粉体、0.3～1质量份的分散剂、0.1～2质量份的胶凝剂和30～70质量份的去离子水置入球磨罐中混合,再注入模具,在30～90℃水浴条件下保温0.5～3h,脱模,在80～110℃条件下烘干,于1100～1400℃条件下保温2～10h,制得冶炼光伏级硅用氮氧化硅/石英复合陶瓷坩埚。本发明制备的所述复合陶瓷坩埚具有不开裂和与硅锭不粘连的特点,使用性能良好。

• 单位
  武汉科技大学