<正>申请(专利)号:CN202110755055.3公开(公告)日:2021-11-16申请(专权)人:北京化工大学;巨化集团有限公司;中巨芯科技有限公司;浙江凯圣氟化学有限公司摘要:本发明提供一种电子级氢氟酸的连续化制备系统及方法,半导体器件的制备过程采用特殊工艺生产的电子级氟化氢进行蚀刻和清洗,本申请的电子级氟化氢,
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