一种多晶硅冶炼用熔融石英/氮化硅复合陶瓷坩埚及其制备方法

作者：王庆虎; 刘俊; 李亚伟; 桑绍柏; 徐义彪; 朱天彬; 廖宁

来源：2019-06-17, 中国, CN201910522328.2.

本发明涉及一种多晶硅冶炼用熔融石英/氮化硅复合陶瓷坩埚及其制备方法。其技术方案是：将熔融石英粉体、表面改性剂和去离子水混合,水浴条件下搅拌,干燥,研磨,得到改性熔融石英粉体。将氮化硅粉体、表面改性剂和去离子水混合,水浴条件下搅拌,干燥,研磨,得到改性氮化硅粉体。将丙烯酰胺、N,N’-亚甲基双丙烯酰胺和去离子水混合,制得预混液。将改性熔融石英粉体、改性氮化硅粉体、丙烯酸与2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸共聚物、过硫酸铵和预混液混合,注入模具,凝胶固化,脱模,烘干,在空气或惰性气氛下烧成,制得多晶硅冶炼用熔融石英/氮化硅复合陶瓷坩埚。本发明工艺过程易于控制,所制制品的组织结构均一、致密度高和良品率高。

• 单位
  武汉科技大学