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摘要
由于音圈电机具有快速动态响应、出力平滑且能够实现高加速度等特点,已经广泛用于XYZ三维精密运动平台的Z轴中,并配合使用PID控制算法进行点对点定位运动。由于三维精密运动平台存在模型不确定性和扰动不确定性,不能获得比较满意的动态和稳态性能,为此提出采用鲁棒控制算法来解决该问题。通过对音圈电机进行机理建模,再通过正弦扫频进行系统辨识得到标称数学模型,并分析了系统所存在的不确定性及扰动,最后利用MATLAB进行了鲁棒控制器的设计及仿真,验证了鲁棒控制器具有较好的动态响应品质和稳态抑制干扰的性能。
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