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摘要
国内外近些年来,对于检测光学元件表面缺陷的技术越来越重视。由于光学系统的性能会直接受到光学元件表面质量优劣的影响,这对于光学元件的质检工作方面增加了一定的难度。如果光学元件的质量能够得到有效的改善,光学仪器的整体质量都会得到系统性的提高。基于此,本文阐述了光学元件表面缺陷对元件自身以及其所处系统的危害,然后对光学元件表面微缺陷检测方法进行分析,介绍了机器视觉检测技术的优势,希望能为相关工作者提供有用的参考。
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单位中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
