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摘要
【目的】通过集成在片上的硅基边缘光耦合器(以下简称边缘耦合器)，硅光子芯片可以与光纤实现低损耗耦合。在商用硅光子芯片的封装流程中，大规模的光纤与硅光子芯片对准需求对光纤与边缘耦合器的对准效率提出了更高的要求。本文的研究目的是基于光纤端面与边缘耦合器端面之间形成的法布里—珀罗（Fabry-Perot，FP）腔对光纤与边缘耦合器的对准流程进行优化。在光纤轴向（本文中表示为x轴方向）这一自由度上对光纤与边缘耦合器之间的距离进行测量之后，将光纤沿该方向进行单次调节即可完成与边缘耦合器的高精度对准。【方法】在研究方法上，本文研究了光纤端面与边缘耦合器端面之间形成的FP腔结构，建立了FP腔的反射 / 透射光谱与端面间距之间的物理模型。搭建了光纤对准平台完成基于FP腔测量端面之间的距离的实验，然后基于FP腔测距结果，将光纤沿光纤轴向这一方向上进行单次位置调整来实现与边缘耦合器的对准。【结果】实验中得到的FP腔长值与仿真得到的理想FP腔模型腔长值的偏差小于1 μm，测得的光纤位移距离在实际位移的误差范围（± 1 μm）内。基于测距结果调整光纤位置以后，在输出端口光纤与边缘耦合器之间的光耦合损耗为3.52 dB，与参考值（3.3 dB）的误差仅为0.22 dB。【结论】本文的工作验证了基于FP腔实现光纤与边缘耦合器的高效对准的可行性。通过FP腔实现了对光纤与边缘耦合器间距的测量以及对光纤位移的测量，测量精度为亚微米级别。并通过实验验证了基于FP腔测距结果，仅需对光纤进行单次位置调整就可以实现与边缘耦合器的高精度对准。
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