半导体分析仪0.1pA微小电流校准及不确定度分析

作者：丁立强; 丁晨; 郑世棋; 乔玉娥; 李灏; 田秀伟

来源：中国计量, 2019, (07): 110-114.

DOI：10.16569/j.cnki.cn11-3720/t.2019.07.034

<正>本文以半导体特性分析仪B1500A为被校对象,针对其ASU小电流测量模块的微小电流0.1 pA点,采用校准电流参数的间接测量法,使用低电流适配器、100GΩ高值电阻器和高精度数字多用表组建测量系统,实现该点的校准。根据测量模型,对校准结果各影响量逐一分析,评定校准结果的测量不确定度,利用传递比较法对测量不确定度进行验证,结果表明该评定方法合理、有效。一、校准方法1.测量原理微小电流0.1pA校准过程中使用的标准电阻为

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所