镉钯共掺ZnO的制备与H_2气敏性能研究

作者：龚庭韦; 史笑岩; 谢远航; 陈杰; 杨晓红

来源：传感器与微系统, 2023, 42(05): 6-11.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)05-0006-06

• 氧化锌纳米棒
• 镉钯掺杂
• 氢气气敏性能

采用一步水热法制备了镉（Cd）、钯（Pd）共掺氧化锌（ZnO）纳米材料。通过X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、拉曼光谱和光致发光（PL）光谱对制备的样品进行了表征与分析，并对其氢气（H2）气敏性能进行了系统测试分析。实验制得样品为六方纤锌矿晶体结构，具有良好的结晶度；Cd、Pd的掺入改善了ZnO的结构，调控晶体缺陷；基于Cd、Pd共掺ZnO基传感器的检测体积分数、响应恢复时间和工作温度都有明显降低；并且该材料在60℃低温下对H2仍具有良好的响应。最后，对Cd、Pd共掺ZnO的气敏原理也进行了探讨。