摘要

热发射光谱在环境监测、天体物理、医学诊断和药物研发等领域得到广泛关注和利用。基于微机电系统的红外光源虽然有效缩小了器件体积,但仍存在光谱分布范围广、发射率较低等缺点,通过对微纳结构的合理利用,可以控制热发射的光谱特性,有效提高窄带发射性能。在本文中,我们首先对MEMS红外热辐射光源的基本原理进行了阐释,其次介绍了基于光栅、光子晶体及超表面结构等微纳结构的MEMS红外窄带热光源的研究进展,随后对红外窄带热光源在气体传感、热光伏发电、生物医学等领域的应用进行了简单介绍,最后对上述几种基于微纳结构的窄带光源的性能进行了对比及总结。