多元氧化物电子薄膜材料的单胞生长模式与界面应力诱导效应的研究

作者：李言荣; 朱俊; 张鹰; 李金隆; 魏贤华; 梁柱; 张万里; 吴传贵; 刘兴钊; 陶伯万

来源：电子科技大学学报, 2006, S1: 577-593.

• 氧化物薄膜
• 外延生长
• 单胞
• 应力调控 oxide film
• epitaxially growth
• unit cell
• strain-modulation

多元氧化物薄膜,特别是ABO_3钙钛矿结构的薄膜由于有铁电、压电、热释电和超导等特性和在多功能电子器件上的广泛应用而成为电子功能材料研究的热点．该文利用激光分子束外延和磁控溅射等薄膜制备技术,采用反射式高能电子衍射(RHEED)对薄膜的生长进行原位实时的检测分析,确定了在不同的工艺条件下氧化物薄膜的层状、层岛混合和岛状生长模式。优化了薄膜的生长条件,实现了对薄膜生长模式的有效控制,绘制出SrTiO_3、BaTiO_3等薄膜的生长模式图谱。测量计算了薄膜的表面活化能和沉积粒子在表面的有效扩散率,发现氧化物薄膜表面的生长运动单元具有活化能小、迁移时间长等重要特点,采用原子力显微镜(AFM)和掠入射...

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室