三维结构石英透镜提高DUV-LED的发光效率

作者：彭洋; 陈明祥; QIU J Y; MIN X H

来源：电子与封装, 2023, 23(01): 132.

<正>深紫外LED(DUV-LED)具有环保无汞、寿命长、功耗低等优势，在杀菌消毒、生化检测、医疗健康等领域具有重要的应用价值。然而，由于光提取效率（LEE）的限制，DUV-LED出光效率较低（外量子效率不足10%），严重影响了DUV-LED的应用效能。此外，Al GaN基DUV-LED出光沿着垂直芯片表面的方向传播，导致大量光子需要从芯片侧壁提取，易被封装基板腔体（围坝）吸收，严重降低了DUV-LED封装的光提取效率。因此，增强DUV-LED侧壁光提取仍是一个挑战。

• 单位
  华中科技大学