掺杂改性增强钛酸锶钡薄膜介电性能的研究进展

作者:汤健; 刘军*; 傅志鹏
来源:化工新型材料, 2023, 51(S2): 71-79.
DOI:10.19817/j.cnki.issn1006-3536.2023.S2.015

摘要

钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)薄膜具备高介电常数、低介电损耗,以及高介电可调谐性等优点,是微波可调谐应用的潜在候选材料。综述了掺杂改性BST薄膜的研究进展,分别对A位掺杂、B位掺杂和双位共掺杂改性进行了总结和分析,对不同位置掺杂改性的BST薄膜的介电性能进行了对比分析;众多研究显示,单独的A位或B位掺杂修饰并不能获得介电性能均衡增强的BST薄膜,而双位共掺杂则可以使BST薄膜的介电性能得到均衡增强。

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