Al掺杂对ZnO薄膜形貌和光学性能的影响

作者：王航; 师清奎; 李谦; 顾永军; 李丽华; 黄金亮

来源：半导体光电, 2019, 40(02): 234-238.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2019.02.018

• ZnO薄膜
• Al掺杂
• 溶胶-凝胶法
• 光学性能

采用溶胶-凝胶旋涂法在FTO玻璃衬底上制备得到了不同Al掺杂浓度的ZnO薄膜(AZO)。利用XRD、FESEM、UV-vis和PL等测试手段对样品结构、形貌和光学性能进行了表征。结果表明,合成的AZO薄膜均为六方纤锌矿结构且峰强随掺杂浓度的升高而减弱;同时,颗粒形貌由不规则向规则球形转变且尺寸逐渐减小;PL谱中的近紫外发射峰和晶格缺陷峰值随掺杂浓度的升高先增大后降低;由UV-vis吸收光谱可知,AZO薄膜在设定波长内的光吸收处于波动状态,且当Al掺杂浓度为3%时,光吸收强度最高,禁带宽度减小到3.12eV。

• 单位
  河南科技大学