影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素

作者：杨小林; 扈百直; 刘秉宁; 李正飞; 马肖

来源：云南冶金, 2019, 48(01): 61-65.

• ITO靶材
• 冷压
• 缺陷
• 粉末冶金

对冷压大尺寸ITO靶材毛坯出现的靶材质量问题进行详细分析。实验表明:选用质量比为9∶1的In2O3与SnO2粉末。将粉末配成固含量65%的溶液,添加ITO粉末质量的2%～3%的PVA粘结剂及2.5%的分散剂(活性剂)及稳定剂等,通过球磨,喷雾制粉,使粉末的含水量达到6%,过150目筛的粉末。采用改进模具、分段加压的冷压工艺,在冷压压力50～60MPa下,冷压大尺寸ITO靶材,可有效消除靶材毛坯掉边、分层及断裂等质量问题。

• 单位
  西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司