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摘要
主要研究了水基和水膜辅助这两种不同水辅助方式对飞秒激光高温合金逐层逐圈切孔质量的影响，对比分析了不同水辅助方式下激光脉冲重复频率变化对微孔出入口孔径、锥度、内壁形貌和内壁粗糙度的影响。实验结果表明：水基和水膜辅助均可以改善飞秒激光制造微孔的质量，微孔锥度减小，微孔内壁粗糙度减小，且水基辅助的改善效果更明显。当激光脉冲能量为80μJ，脉冲重复频率在100 kHz左右时，水基辅助飞秒激光制孔可以获得较好的孔内壁质量，同时相比于空气中孔的锥度减少18.04%。随着激光脉冲重复频率的增加，两种水辅助条件下微孔的出入口孔径和锥度均先减小后增大，其中水基辅助下的微孔内壁粗糙度数值变化不大，水膜辅助下微孔内壁粗糙度数值不断增加。实验结果为优化水辅助飞秒激光制孔工艺提供了参考。
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