基于磁致旋光效应的双路MOEMS加速度传感方法

作者：刘丽双; 武亮伟; 郭浩; 唐军; 石云波; 林绍卓; 刘郁松

来源：微纳电子技术, 2022, 59(12): 1308-1313.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.12.009

• 微光电子机械系统(MOEMS)
• 磁致旋光效应
• 磁光晶体
• 加速度传感
• 双路差分

基于磁致旋光效应的加速度传感机理，提出了一种双路加速度传感方法。通过设置双路磁光晶体，利用其中一路磁光晶体敏感加速度信号引起的磁致旋光效应，另一路磁光晶体敏感外界的磁、热噪声并作为参考信号，通过对双路信号的同步差分检测，以去除外界磁、热噪声对磁光晶体的干扰。实验结果表明，基于磁致旋光效应的双路微光电子机械系统(MOEMS)加速度传感方法的灵敏度为314.3 mV/g,噪声谱密度为■,零偏不稳定性为29.1μg,表现出了较高的传感性能。相较于单路系统，双路差分检测有效去除了外界磁、热噪声的影响，提高了加速度传感的检测精度及应用范围。

• 单位
  中北大学