MOD法在双轴织构Ni-W合金基片上制备SrTiO_3缓冲层

作者：田震; 于淼; 熊杰; 陶伯万

来源：低温与超导, 2007, (04): 316-318+348.

DOI：10.16711/j.1001-7100.2007.04.010

• 缓冲层
• SrTiO3
• MOD Buffer layer
• MOD

MOD(金属有机化合物沉积)方法被认为是制备第二代高温超导带材最有应用前景的方法之一。文中采用MOD方法在具有双轴织构的Ni基带上制备SrTiO3薄膜作为高温超导带材的缓冲层,并研究了种子层前驱溶液和退火工艺对SrTiO3薄膜的微观结构及表面形貌的影响。通过这种方法,在Ni-5at.%W基带上获得了具有良好择优取向和表面平整的SrTiO3薄膜。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室