微机电系统温度传感器研究进展及产业现状综述

作者：张弛; 杨晓亮; 唐瑞; 吴洋

来源：科技与创新, 2021, (04): 83-85.

DOI：10.15913/j.cnki.kjycx.2021.04.033

• 微机电系统
• MEMS
• 温度传感器
• 产业现状

传统的温度传感器虽然在各行业已经广泛应用,但因尺寸较大等因素,影响其应用于微型化产品中。微机电系统(MEMS)温度传感器具有高灵敏度、小体积、低功耗等优点,非常适合在集成电路系统内应用。综述了几种典型MEMS温度传感器的研究进展及其产业现状,对比分析了不同种类MEMS温度传感器其各自的优缺点。

• 单位
  重庆材料研究院有限公司