基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置

作者：李冰冰; 董敬涛; 陈坚; 吴周令

来源：2016-06-01, 中国, ZL201521120666.7.

本实用新型提供一种基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置,包括用于放置样品的样品台,还包括光热检测系统和光学显微系统,所述光热检测系统包括泵浦光源、泵浦光聚焦装置、探测光源、探测光第一聚焦装置和探测装置,所述光学显微系统包括光学照明光源、光学照明光分束装置、光学照明光反射装置、泵浦光聚焦装置、成像透镜和成像装置。本实用新型将光热检测技术和光学显微技术结合在一起,有效地弥补了单一模式检测的不足,实现了双模态、多参数、易定位的检测,有利于拓宽光热检测技术和光学显微技术的应用；同时,本实用新型中光热检测系统和光学显微系统利用同一聚焦装置,减少了器件数量,缩小了装置的体积,降低了成本。

• 单位
  合肥知常光电科技有限公司