退火炉内壁白色沉积物的电子显微研究

作者：张德政; 包生祥; 杜之波; 庄丽波; 王娇; 吕德春

来源：真空电子技术, 2009, (02): 48-50.

DOI：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2009.02.005

• 卧式退火炉
• 白色沉积物
• 电子显微分析
• 阴极筒 Horizontal annealing furnace
• White sediments
• Electron microscopy
• Cathode tube

针对阴极筒退火过程中在退火炉内壁新产生白色沉积物的现象,利用扫描电子显微镜和能谱仪,分析了该沉积物的结构和成分,并与退火炉在长期退火过程中在内壁形成的原有深色沉积物进行对比研究。结果表明,形貌上白色沉积物荷电现象不明显,成分上主要以C,N,O等元素为主,白色沉积物粉末状的原因为前期电镀工艺结束后未清洗干净的残留镀液在高温下挥发所致。根据分析结果改进清洗工艺,避免了白色沉积物的再次出现。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学