铟柱高度快速测量方法研究

作者：张鹏; 冯晓宇; 张轶

来源：红外, 2022, 43(02): 15-21.

DOI：10.3969/j.issn.1672-8785.2022.02.003

• 红外探测器
• 铟柱
• 互连
• 高度测量

在红外探测器铟柱蒸发的工艺试验中，有需要测量大量铟柱高度的情况，因此对铟柱高度测量方法进行了研究。手动逐点测量铟柱高度方式的结果较为准确，但是测量速度比较慢，消耗时间比较多。快速自动测量的方法使用了显微镜的扫描功能，并利用图像识别技术来自动识别铟柱，能够一次获取所有铟柱的高度，所以测量速度很快。详细介绍了这两种方法的操作步骤和重要选项的设置。经过测算，用快速测量方法测量1000个铟柱的高度只需要30分钟，测量时间能够减少76%,极大地提高了测量效率。最后分析了两种不同测量方法的优点和缺点。

• 单位
  华北光电技术研究所