多晶硅生产中硅芯氧化问题探究

作者：宋张佐; 刘阳赞; 蔡永明; 周万礼

来源：云南化工, 2019, 46(02): 4-6.

• 多晶硅
• 硅芯
• 氧化
• 措施

改良西门子法生产多晶硅中硅芯是多晶硅生长的载体,硅芯氧化会降低多晶硅产品品质,硅芯氧化的产品对下游铸锭、直拉均有不同程度的影响。目前硅芯氧化是影响多晶硅产品质量的一大问题。分析了硅芯氧化机理,针对相关因素开展了试验,提出了降低硅芯氧化率的措施。

• 单位
  云南能投化工有限责任公司