基于钝化微分的压电微动平台PID控制

作者：刘尔春; 孙庆龙; 卢志诚; 惠相君; 周鹏飞; 汪家乐; 孙靖康; 崔玉国^*

来源：压电与声光, 2019, 41(01): 89-93.

• 微动平台
• 压电执行器
• PID控制
• 钝化微分

为避免压电微动平台在工作过程中受到扰动或冲击,采用改进比例、积分、微分(PID)控制器对其进行控制。首先,在平台的PID控制器中引入低通滤波器,以降低微分环节对扰动或冲击的敏感性(即使微分环节对扰动或冲击产生钝化效应),进而设计出了压电微动平台的改进PID控制器;接着,基于所搭建的压电微动平台位移测量系统,实验验证了所设计的钝化微分PID控制器的效果。实验结果表明,在钝化微分PID控制作用下,平台具有较快的响应,达到5μm阶跃目标的响应时间为0.3s,无超调;平台的定位误差显著减小,在跟踪最大值为15.25μm的变幅值三角波时,定位误差中线由无控制时的-0.7～1.2μm减小为-0.1～0.1μm。

• 单位
  宁波大学