自组装功能膜诱导沉积TiO_2薄膜的研究

作者：刘艳; 苗鸿雁; 谈国强; 于志伟; 宋亚玉

来源：人工晶体学报, 2009, 38(S1): 141-144.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2009.s1.007

• 自组装分子膜
• TiO2薄膜
• 液相沉积
• 影响因素 self-assembled monolayer
• TiO2 thin film
• liquid phase deposition
• effect factors

将自组装分子膜层(SAMs)技术与液相沉积技术(LPD)相结合,以氟钛酸氨((NH4)2TiF6)和硼酸(H3BO3)为原料配制反应前驱液,在镀有十八烷基三氯硅烷(OTS)自组装分子膜层的玻璃基底表面制备出与基底结合紧密、结构致密均一、厚度可控的纳米TiO2晶态薄膜。采用XRD、SEM和AFM等测试手段对薄膜的物相组成、显微结构和表面形貌进行了表征。结果表明:OTS-SAMs功能化基底对TiO2薄膜的沉积具有明显的诱导作用,当前驱液的(NH4)2TiF6浓度为0.05 mol.L-1,与H3BO3的摩尔比为3∶1,pH=3.0时,在50℃下沉积10 h后,无需退火,就可得到结晶良好的纯锐钛矿相...

• 单位
  材料科学与工程学院; 陕西科技大学