石英舟装片机碎片率分析及结构改进

作者：陈嘉荣; 张海

来源：山西电子技术, 2018, (04): 34-37.

• 石英舟装片机
• 碎片率
• 矫正机构

通过对现有全自动石英舟装片机机构分析,对不同功能组件碎片率进行分析,找出碎片集中高发区域,对结构进行相应改进,实现装片机产能的提升。通过大量现场调试及生产反馈,结构的改进在一定程度上提升了装片机的生产效率,降低了生产人员的工作强度,降低了设备损坏率,满足了设备的生产要求。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所