微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿

作者：李瑞君; 李洁; 何亚雄; **英; 黄强先

来源：计量学报, 2022, 43(04): 452-456.

DOI：10.3969/j.issn.1000-1158.2022.04.03

• 计量学
• 微纳米三坐标测量机
• 垂直度误差
• 建模补偿

垂直度误差是微纳米三坐标测量机的重要误差源之一，必须对其进行高精度测量并建立垂直度误差的补偿模型。采用基于光电位置敏感器件(PSD)的测量装置，先将三轴垂直度误差转化成相应方向的直线度误差再对其进行测量，并对微纳米三坐标测量机的垂直度误差进行建模和补偿。通过对0级标准量块厚度进行测量和垂直度误差补偿，量块X、Y方向厚度测量误差分别减小了11μm和4μm,验证了垂直度误差测量方法和补偿模型的有效性。

• 单位
  合肥工业大学