基于力反馈的笔式自动化直写系统研究

作者：罗昆; 冷惠文; 杨兴^*; 邢玉琪; 代建军

来源：激光杂志, 2018, 39(09): 51-54.

DOI：10.14016/j.cnki.jgzz.2018.09.051

• 力反馈
• 笔式直写
• 笔式直写系统
• 微/纳米器件

研究并设计了一种基于力反馈的笔式自动直写系统,系统主要部分包括精密三轴线性位移台、高分辨率微力传感器及信号调理电路、数据采集卡。通过接触力检测与反馈,由LABVIEW编程控制,使位移台实现任意设定路径的运动,从而实现任意图案的直写。系统可实现微牛级接触力检测、纳米级位移增量控制以及0.05mm/s至2.3mm/s速度范围内可调等,为笔式直写技术在微/纳米器件制造领域的应用提供了重要的技术支持。应用毛笔在纸质基底实现直写,从而对系统的各项性能进行了实践性的验证。

• 单位
  精密测试技术及仪器国家重点实验室; 烟台大学; 清华大学