LiNbO_3压电薄膜的研究进展

作者：王俊喜; 董向丹; 张丽伟; 王新昌

来源：真空与低温, 2010, (01): 55-60.

• LiNbO3
• 压电薄膜
• 声表面波 LiNbO3
• piezoelectric thin films
• surface acoustic wave

LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性而被广泛应用于声表面波器件中。对LiNbO3的声表面波特性及薄膜制备技术进行了综述,并着重介绍了LiNbO3/蓝宝石及LiNbO3/金刚石多层结构的制备、声表面波特性的理论研究及压电薄膜研究进展。

• 单位
  郑州大学; 浙江大学; 硅材料国家重点实验室; 新乡学院