AlSb薄膜的潮解机制研究

作者：常璐; 王朋伟; 刘竞艳; 苗壮; 田弋纬

来源：西安文理学院学报(自然科学版), 2022, 25(02): 100-103.

• AlSb
• 潮解
• AES
• XRD
• SEM

锑化铝(AlSb)薄膜具有优良的光电特性，但因其极易潮解从而极大地限制了AlSb薄膜的应用.采用共溅射的方法制备AlSb薄膜，利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)及俄歇电子能谱(AES)等表征了其镜头结构、形貌及成份等性质特征，并分析了其在空气中的潮解机制.实验表明AlSb薄膜在空气中潮解后在其表面存在有Al(OH)3,这说明AlSb与空气中水发生反应，并生成了Al(OH)3和SbH3.通过研究AlSb薄膜潮解机制可以选择合适的方式对其潮解过程进行延缓甚至抑制.