具有多波长处理功能的单片集成光探测器阵列

作者：段晓峰; 黄永清; 王琦; 黄辉; 任晓敏; 温凯

来源：中国激光, 2009, (09): 2362-2366.

• 集成光学
• 光探测器阵列
• 多波长处理
• 异质外延 integrated optics
• photodetector array
• wavelength selective
• heteroepitaxy

从理论上设计并研制了一种用于可重构光分插复用技术中的具有多波长处理功能的单片集成光探测器阵列,器件在GaAs基衬底上集成了GaAs/AlGaAs材料的法布里-珀罗谐振腔和InP-In_(0.53)Ga_(0.47)As-InP材料的PIN光探测器。为了能够实现对多路波长的探测,首先利用湿法腐蚀,改变不同区域谐振腔的厚度,然后通过二次外延完成谐振腔的生长,最后利用低温缓冲层技术在GaAs材料上异质外延高质量的InP基的PIN结构。器件的工作波长位于1500 nm左右。可实现对4路波长,间隔为10 nm的光信号探测,光谱响应线宽低于0.8 nm,峰值量子效率达到12%以上,响应速率达到8.2 GH...

• 单位
  信息光子学与光通信国家重点实验室