摘要

本发明公开一种可开关式体声波滤波器,所述可开关式体声波滤波器包括若干个串联的体声波谐振器和若干个并联的体声波谐振器;所述体声波谐振器包括第一金属层、压电层和第二金属层;压电层位于第一金属层和第二金属层的中间。所述第一金属层材料为高功函数金属。所述第二金属层材料为低声学损耗金属。所述压电层采用压电半导体材料作为压电材料。本发明的压电层中压电半导体材料上添加不同禁带宽度的三元化合物构成异质结产生二维电子气。第一金属层上的偏置电压控制二维电子气的产生与耗尽,从而达到控制谐振器开启与关闭。本发明结构简单,开启电压低且具有良好的隔离度。