湿化学工艺SrNb_xTi_(1-x)O_3导电薄膜的制备及性能

作者：王晓娟; 殷明志; 林鸿鹏; 张鹤飞

来源：材料导报, 2008, 22(S1): 325-328+337.

• 溶胶-凝胶工艺
• SrNb_xTi_(1-x)O_3薄膜
• 电学性能 sol-gel technique
• SrNb_xTi_(1-x)O_3 film
• electrical property

采用湿化学工艺在硅衬底上成功地制备了结构致密、均匀且无龟裂的SrNb_xTi_(1-x)O_3薄膜。金属盐的冰醋酸溶液经回流再加入乙酸酐除去无机阴离子和结晶水,形成的金属醋酸盐与适当的络合剂形成的多配体络合物经部分水解生成的羟基化合物M(OH)_(n-x)(L)_x(L=C_4H_6O_6或AcAc,M=Sr或Ti或Nb)经羟基聚合形成SrNb_x-Ti_(1-x)O_3簇状溶胶。丙三醇抑制了羟基金属过度聚合,甲基纤维素(MCL)使SrNb_xTi_(1-x)O溶胶具有网状结构。SrNb_(0.1)Ti_(0.9)O_3(SNTO)凝胶薄膜经过650～750℃/30min退火形成假立方钙钛矿结...

• 单位
  西北工业大学