MEMS悬臂梁的静态力学模型研究

作者：谢嘉诚; 左文; 张聪淳; 王德波^*

来源：微电子学, 2020, 50(04): 543-554.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.190561

• MEMS
• 悬臂梁
• 力学模型
• 枢纽式模型

研究分析了MEMS悬臂梁的静态力学特性。对比分析了集总式静力学模型和枢纽式静力学模型。对于集总式静力学模型,将MEMS悬臂梁的下拉位移假设为处处相等的普通电容极板,得到悬臂梁下拉位移和下拉电压。对于枢纽式静力学模型,将MEMS悬臂梁假设为下拉位移处处不等的转轴,通过寻找悬臂梁在下拉过程中的等效受力点,得到下拉位移和下拉电压。比较了两种模型的静电力学下拉位移与下拉电压的相对误差。结果表明,集总式静力学模型的误差为20.5%,枢纽式静力学模型的误差仅有5.3%。这表明,枢纽式静力学模型的特性优于集总式静力学模型。

• 单位
  南京邮电大学