交换版机械手支架的模态分析

作者：刘颖; 关宏武; 王浩楠; 赵东雷; 林继柱

来源：电子工业专用设备, 2023, (02): 54-63.

• 模态试验
• 有限元分析
• 支架
• 掩模版交换
• 机械手

针对交换版机械手上所用支架，基于有限元理论，运用ANSYS软件进行网格划分和属性定义，进行模态分析。运用LMS Testlab设备进行支架模态试验，结果表明模态仿真结果与试验结果误差在允许范围内，验证了仿真结果和试验结果的准确性、可靠性。为支架的优化设计提供了理论依据，并用于指导实际的生产设计。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所