摘要

<正>一、会议主题微电子技术是当代技术革命的先导与核心,微电子技术的发展,离不开微电子计量与测试技术的保障。一方面,微电子器件的高速发展及高端测试系统的广泛应用,给微电子器件参数的计量与测试带来了极大的挑战。另一方面,微电子器件国产化是我国国家发展战略,国家集成电路产业迅速发展,是我国高质量发展的重要保障,也带来了国产化器件参数的计量与测试新问题、新挑战。