微机械制造中的三维立体光刻加工技术

作者：袁哲俊; 胡忠辉; 谢大纲

来源：制造技术与机床, 2004, (8): 43-47.

DOI：10.3969/j.issn.1005-2402.2004.08.011

• 三维立体光刻技术
• 各向异性刻蚀
• 牺牲层工艺
• 微机电系统

文章介绍了微机械和微机电系统制造的一种重要方法-三维立体光刻技术方法的基本原理、加工技术及其应用.同时还介绍了立体光刻技术结合抗腐蚀层、牺牲层工艺加工微器件的原理、方法和应用.

• 单位
  哈尔滨工业大学