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摘要
本发明提供基于多模干涉器反射镜的反射式阵列波导光栅,包括输入波导、耦合器、阵列波导、反射镜和输出波导,输入波导和输出波导位于耦合器的同一侧,阵列波导位于耦合器的另一侧；所述阵列波导由多根纳米线波导组成,每一根纳米线波导的一端与耦合器相连,另一端与一个反射镜相连；反射镜是由多模干涉器和环型波导构成的平面波导结构。本发明的反射式阵列波导光栅完全基于平面光波导工艺,而且宽度最窄的波导是单模波导,制作精度的要求与普通纳米线阵列波导光栅的要求完全一致。采用基于多模干涉器的反射镜,反射镜对波长和制备工艺的误差不敏感。阵列波导的结构设计灵活,可根据需要任意布局。
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