基于引压方式的驻极体高温动态压力传感器

作者：宫占江; 邵志强; 苏琳惠; 陈亚洲; 孙立凯; 宋尔冬

来源：传感器与微系统, 2023, 42(07): 110-119.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)07-0110-03

• 高温
• 动态压力
• 引压管
• 热沉
• 工作频率

通过对引压管和热沉尺寸的合理设计，使传感器在高温环境下工作时，能够将传感器敏感端温度降低到室温，同时满足传感器的工作频率要求。搭建了高温动态压力测试平台对传感器进行了性能测试。测试结果表明：传感器在室温至800℃环境下压力输出曲线具有良好的一致性，对测试曲线进行线性拟合，得到R2=0.999,传感器的3 dB带宽达到8 kHz。该传感器能够在不损失工作频率的同时，实现高温环境下动态压力测试，满足航空航天等领域对高温动态压力传感器的需求。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所; 哈尔滨工程大学