淬火技术对酸洗法提纯多晶硅的催化作用

作者:刘振东; 牛兴平*; 戴玉强; 朱登雷
来源:太阳能学报, 2019, 40(01): 96-102.
DOI:10.19912/j.0254-0096.2019.01.015

摘要

采用淬火技术和酸洗络合技术提纯多晶硅。采用ICP测试多晶硅纯度,采用XRD、红外光谱、拉曼光谱、扫描显微镜、扫描电镜和能谱技术分析淬火对多晶硅提纯的催化机理,结果表明:1)淬火能减弱多晶硅杂质元素与硅之间的键能和键力,使多晶硅晶体出现缺陷和缩小硅体晶面间距;2)多晶硅杂质相主要由非晶金属氧化物或金属硅化物构成;3)采用酸洗络合技术和二次凝固技术可使多晶硅中B的移除率达到90%,同时其他金属杂质的移除率均在55%以上,提纯硅的纯度基本满足太阳电池的需求。

  • 单位
    数理学院; 安阳工学院

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