小像元量子阱FPA抗光学串音的FDTD仿真

作者：邵恩善; 王玲; 李向阳^*

来源：半导体光电, 2023, 44(03): 325-329.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2023022004

• 量子阱
• 光学串音
• FDTD仿真
• 焦平面
• GaAs/AlGaAs

采用光栅耦合结构的焦平面阵列(Focal Plane Array, FPA)在工艺上难以制备，反射耦合结构较为容易。为探究反射耦合结构是否可以在小尺寸范围内替代光栅耦合结构，文章使用FDTD电磁场仿真软件MEEP构建了光栅耦合结构和反射结构GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面阵列三像元模。通过对器件内部光学串音进行仿真，验证了在逼近衍射极限时，采用全内反射结构的FPA在5～7μm和8.5～10μm之间的抗串音效果强于光栅耦合结构，而在6.5～8.5μm和10～12μm之间，光栅耦合结构的抗串音效果更好，在12～15μm范围内，两种结构的抗串音能力相当。针对15μm中心距全内反射结构量子阱FPA,探究了反射角度、刻蚀深度和量子阱周期对其串音的影响。

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所; 上海科技大学