EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试

作者：巩岩; 宋谦; 叶彬浔

来源：光学精密工程, 2005, S1: 56-59.

• EUV
• MCP
• CCD
• 空间分辨率 EUV
• spatial resolution

研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试。EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14μm,像元数2 048×2 048。在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1 nm波长处,空间分辨率达到19μm,相当于极限分辨率为26 lp/mm。

• 单位
  中国科学院国家天文台; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室