纳米粉体材料的制备收集和相应设备改造

作者：李波

来源：内燃机与配件, 2019, (12): 82-83.

DOI：10.19475/j.cnki.issn1674-957x.2019.12.036

• 纳米粉体
• 溅射
• 自然沉降
• 集尘瓶

本文提供了一种真空溅射法生产纳米粉体的制造方法以及收集方法,该方法对普通溅射机稍加改造,即可完成纳米粉体制备,结构简单上马快,适应于中小量多品种研究单位使用。

• 单位
  山东省机械设计研究院