本发明提供的一种多用途氧化镓悬空晶体管阵列的制备方法,可以作为日盲探测器使用,将氧化镓的光电导型模态与谐振型模态两种深紫外探测模式结合起来,能够有效弥补单一模式面临的缺点,可以提高探测器的动态范围和目标精度。也可以作为晶体管使用,采用氧化镓宽禁带半导体材料的电路与传统硅基电路相比,功率密度更高、功耗更低。本发明采用晶圆级悬空氧化镓晶体管制备工艺,进一步增加器件的多用途性,降低了成本。有着良好的应用前景,同时也符合未来器件集成化、小型化的发展方向。
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