基于湿法清洗中快排槽节水性能的优化研究

作者：赵宏亮; 高津平; 刘建民; 边晓东

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(02): 53-56.

• 晶圆清洗
• 快排阀
• 快排槽

现有的清洗设备中,当完成晶圆的清洗工艺后,再次利用快速排水的工艺方法会消耗大量水资源。针对这一问题,探讨了一种适用于该类工艺流程的节水设计方案。通过改进排放阀的结构,将废水排放与回收功能集成相结合,使得去离子水的利用率得到了提高,不仅节约了成本,并且避免了资源的浪费。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所