一种通过实时监控氟注入实现增强型HEMT器件的方法

作者：李国强; 孙佩椰; 万利军; 阙显沣; 姚书南; 梁敬晗

来源：2019-12-18, 中国, ZL201911308890.1.

本发明公开了一种通过实时监控氟注入实现增强型HEMT器件的方法,包括,在HEMT器件的源电极及漏电极上分别引出监控电极,两个电极均通过导线与源表相连,形成闭合回路,然后器件在氟离子处理的过程中,不断耗尽栅下的2DEG,输出电流逐渐减小,当源表显示输出电流为零时,即实现增强型,有效避免了氟离子过度注入导致输出电流降低。

• 单位
  华南理工大学