为构建内腔加工专机高保真度模型，建立机电耦合联合仿真伺服控制模型。通过伪随机序列创建激励信号，基于特征识别方法建立各轴指令位置和实际光栅位置间的传递函数，通过最小二乘法辨识出传递函数参数，并建立联合仿真模型。仿真结果表明：直线轴指令、旋转轴指令与仿真结果间最大误差分别为4.0×10-3mm, 4×10-15°,满足工程应用的精度要求。
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