小尺寸芯片电容加工工艺研究

作者：徐亚新; 梁广华; 魏浩; 赵飞; 庄治学; 周拥华; 何超

来源：电子工艺技术, 2019, 40(05): 288-290.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2019.05.011

• 芯片电容
• 边界效应
• 划切

研究了小尺寸芯片电容的仿真以及加工工艺,分析了芯片电容的边界效应,优化了加工过程中的关键工艺。在此基础上加工出一种小尺寸芯片电容,并进行了性能测试,达到了使用要求,对小尺寸芯片电容的加工制造具有较好的借鉴意义。

• 单位
  中国电子科技集团公司第五十四研究所