Al-Sn共掺杂浓度对ZnO薄膜的结构和光电性能的影响

作者：陈义川; 胡克艳; 张效华; 朱文均; 帅伟强; 劳子轩; 胡跃辉

来源：中国陶瓷, 2018, 54(07): 1-7.

DOI：10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2018.07.001

• ZnO
• 溶胶-凝胶
• Al-Sn共掺杂

在石英玻璃衬底上,通过溶胶-凝胶旋涂法制备Al-Sn共掺ZnO薄膜(ASZO)。研究表明,所有ASZO薄膜样品都沿c轴择优取向生长;适当的Al-Sn共掺浓度,可以促进ZnO薄膜结晶,提升薄膜的载流子迁移率,同时还可以观察到ASZO薄膜表面生长出六角柱状结构晶粒。随着Al-Sn元素掺杂浓度的改变,所获薄膜的最高平均光学透过率达到95%以上。由于Al-Sn元素间固溶比不同,适当的掺杂浓度可以提升Al-Sn元素的掺杂效率,提升薄膜内部的载流子浓度,降低薄膜电阻率,得到ASZO薄膜最低电阻率5.7×10-2Ω·cm。

• 单位
  电子工程学院; 景德镇陶瓷大学